e-È«º¸½Ç ¾ð·Ðº¸µµ
 
¿ù°£¼¼¶ó¹Í½º 2004³â 11¿ùÈ£
Àº³ª³ë ¹«±âº¹ÇÕÇ×±ÕÁ¦' °³¹ß¤ýÃâ½Ã
30nmÀÌÇÏ ¹é»ö ºÐ¸»¤ýµµÀÚ±â À¯¾à ÷°¡¿ë ³ª³ë õ¿¬¹«±â º¹ÇÕÁ¦Ç° Ç×±ÕÈ¿°ú 99.9%,2000¡É °í¿Â ÀÛ¾÷°øÁ¤¿¡¼­ Ç×±Õ·ÂÀÌ À¯Áö
³ª³ëºÐ¸» ÀÀ¿ë Àü¹®±â¾÷ÀÎ ±×¸°´Ð½º¢ß(´ëÇ¥ ÃÖâÀç)°¡ µµÀÚ±â À¯¾à ÷°¡¿ë Àº³ª³ë¹«±âº¹ÇÕ Ç×±ÕÁ¦'¸¦ °³¹ß¤ýÃâ½Ã Çß´Ù. ÀÌ È¸»ç¿¡¼­ °³¹ßÇÑ Àº³ª³ë¹«±âº¹ÇÕ Ç×±ÕÁ¦´Â ÀÎü¿¡ ¹«µ¶ÇÑ 30nm ÀÌÇÏÀÇ ¹é»öºÐ¸»·Î Àº(Ag)À» Æ÷ÇÔÇÑ ³ª³ë õ¿¬¹«±â º¹ÇÕÁ¦Ç°ÀÌ´Ù.
ÀÌ Á¦ Ç°Àº Ÿ»çÀÇ ÄÚÆùæ½Ä°ú ´Ù¸£°Ô À¯¾à¿¡ ÷°¡ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î Àº³ª³ë¹«±âº¹ÇÕ Çױպи» 3%¸¦ À¯¾à¿¡ ÷°¡ÇÏ¿© ¼¯Àº ÈÄ Ã·°¡µÈ À¯¾àÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ±âÁ¸ ¹æ¹ýÀ¸·Î µµÀڱ⸦ Á¦Á¶ÇÏ¸é µÈ´Ù. À¯¾à¿¡ ÷°¡½Ã ºÐ»êÀÌ °£´ÜÇÏ¿© ÀÛ¾÷¼ºÀÌ Æí¸®ÇÏ°í Á¦Ç°ÀÇ ¹°¼º¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÖÁö ¾Ê´Â´Ù. ȸ»çÃø¿¡ µû¸£¸é Àº³ª³ë ¹«±âº¹ÇÕ Ç×±ÕÁ¦¸¦ ÷°¡ÇÑ µµÀڱ⿡ »ì±Õ, Ç×±ÕÀ²À» ½ÃÇèÇÑ °á°ú ´ëÀå±Õ, Æ÷µµ»ó±¸±Õµî¿¡ 8½Ã°£ ³» 99.9%ÀÇ »ì±Õ¹æ±ÕÀ²°ú °õÆÎÀ̹æÁö±â´ÉÀÌ ³ªÅ¸³µÀ¸¸ç À½À̿°ú ¿øÀû¿Ü¼±µµ ¹æÃâµÇ¾ú´Ù°í ÇÑ´Ù. ÀÌ Ç×±ÕÁ¦°¡ Ÿ»çÁ¦Ç°°ú Â÷º°Çϴ Ư¡Àº 2,000¡É°í¿Â ÀÛ¾÷°øÁ¤¿¡¼­µµ Ç×±Õ·ÂÀÌ Æı«µÇÁö ¾Ê´Â °ÍÀÌ´Ù. ÀÓżö ³ª³ëÇ×±Õ»ç¾÷º»ºÎÀåÀº "ÀÌ Ç×±ÕÁ¦´Â ±Ý¼ÓÀÇ Æ¯¼ºÀ» ÃÖ´ëÈ­ÇÑ ¿©·¯°¡Áö ¹«±âÀç·á, ±Ý¼Ó¿°ÀÌ ÁÖ¿ä ¿øÀç·á·Î ±¸¼ºµÇ¾î ³ª³ëº¹ÇÕ±¸Á¶¿Í ¹«±âÀç·áÀÇ È°¼ºÈ­, Ã˸űâ´ÉÀÇ ±Ý¼ÓÀÌ¿ÂÀÌ °øµ¿À¸·Î ÀÛ¿ëÇÏ´Â º¹ÇÕ Ç×±ÕÀç·á"¶ó¸ç "³ª³ë±â¼ú°ú Ç×±Õ±â¼úÀÇ °áÇÕÀ¸·Î °í¿ÂÇÏ¿¡¼­µµ °­ÇÑ Ç×±ÕƯ¼ºÀÌ ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù. Ç×±ÕÁ¦´Â °í¿Â¿¡¼­ °øÁ¤ÀÌ ÀÌ·ç¾îÁö´Â À¯¸®¿Í ¼¼¶ó¹Íµî ŸÁ¦Ç°À¸·ÎÀÇ Àû¿ëµµ °¡´ÉÇÏ´Ù. ÀÌ Á¦Ç°Àº Çѱ¹¿ø»çÁ÷¹°½ÃÇè ¿¬±¸¿ø¿¡¼­ ½ÃÇ輺Àû¼­¸¦ ¹Þ¾ÒÀ¸¸ç, ÀÌȸ»ç°¡ º¸À¯ÇÑ ³ª³ëº¹ÇÕ±â¼úÀº ƯÇãÃâ¿ø Áغñ ÁßÀÌ´Ù.
±×¸°´Ð½ºÃøÀº "ÇöÀç Àº³ª³ë¹«±âº¹ÇÕ Ç×±ÕÁ¦´Â µµÀڱ⠰ü·Ã ¾÷ü¿¡ È«º¸ Å×½ºÆ®¸¦ ÁøÇàÁß À̸ç ÀºÄÝ·ÎÀÌµå ¹Ù¶÷À¸·Î ȥŹÇØÁø Àº³ª³ë ½ÃÀå¿¡¼­ ¼ÒºñÀÚÀÇ ½Å·Ú¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î Æ´»õ½ÃÀåÀ» °ø·«ÇÏ°Ú´Ù"¸ç "Àº³ª³ë¸¦ °ËÁõÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ã½ºÅÛ°ú ¼ÒºñÀÚµéÀÇ ÀÇ½Ä Çâ»óÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù"¶ó°í ÁöÀûÇß´Ù.
±×¸°´Ð½º´Â Ç×±ÕÁ¦¿¡ ´ëÇÑ ¹æÀ¯±â´É µî Ãß°¡ÀûÀº ±â´ÉÀ» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¿¬±¸ÇÏ´Â ÇÑÆí, ÀϺ», À¯·´µî Çؿܸ¶ÄÉÆÃÀ» ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ´Ù.